
精密溫控、高溫冷卻、各種信號輸入輸出。冷卻能力系列之中,有風冷式/水冷式兩種類型
主要用途 半導體制造裝置的溫度管理
主要特點 溫度范圍廣,溫控精度±0.5℃ 溫度控制范圍-10℃~+70℃,制冷器連續(xù)運轉、通過控制加熱器進行溫度調節(jié),實現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性的恒溫水循環(huán)。
齊全的信號系統(tǒng)和安全裝置 可遠程溫度設定和溫度監(jiān)視,齊全的安全裝置可實現(xiàn)操作信號的輸出。
高溫冷卻功能 在使用溫度范圍內,由于冷凍機的連續(xù)運轉,可實現(xiàn)高溫冷卻功能。
所謂高溫冷卻:例如冷卻對象需要溫度維持在+80℃,但回流的循環(huán)液溫高于+80℃,此時就需要通過本機進行高溫冷卻使循環(huán)液溫降到+80℃在流入冷卻對象。
技術參數 型號 | CH-802BF |
使用溫度范圍 | +10℃~+70℃(使用環(huán)境溫度范圍+5℃~+35℃)(*1) |
溫度調節(jié)精度 | 加熱器PID控制、±0.5℃(*2) |
冷卻能力(50Hz時) | 約1.9kW(*3) |
冷凍機功率 | 水冷式、750W |
加熱器功率 | 3kW |
溫度設定?表示 | 數顯式(設定溫度/槽內溫度切換顯示) |
安全器/安全功能 | 漏電/過電流斷路器、高低溫、冷凍機異常報警、泵異常運轉報警、溫度傳感器異常診斷、液體補充警報、防止空燒、反相繼電器 |
其他功能 | 溫度監(jiān)測器、遠程溫度設定、安全器啟動信號燈、外部溫度傳感器(*4) |
水槽容量(80%水位) | 約26L(*5) |
適用的泵 | P-32E、P-42、P-42 SUS仕様 |
所要一次冷卻水量 | +25℃的冷卻水:7.5L/mim +34℃的冷卻水:18L/min |
一次冷卻水連接口徑 | Rc1/2 |
外形尺寸(水泵) | 407×590×771Hmm |
重量(水泵) | 約90kg |
電源(水泵) | 三相AC200V?50/60Hz 15A |
運轉電流(水泵) | 14A |
標準附件 | 電源線、排水用橡膠軟管、信號連接器 |
(*1)在+7℃以下使用本機時,請務必使用防凍液(具體類型請咨詢我司)。
(*2)使用熱載體、使用環(huán)境溫度、熱負荷循環(huán)配管距離等因素可能會影響溫度性能的維持。
(*3)數據為使用清水做為循環(huán)液且液溫在+10℃、裝置單機時的冷卻能力。根據所搭載的泵的不同,冷卻能力也會有變動。另外當使用環(huán)境溫度達到+30℃時冷卻能力會下降。
(*4)外部溫度傳感器需另購,敬請注意(φ4x250mm)。
(*5)本機為非封閉式構造,因設定溫度、熱載體種類不同,會發(fā)生使用液體會有蒸發(fā)、減少現(xiàn)象。